檢查臭氧濃度的方案大致可分為兩種：儀表法和化學分析法。 
　　儀表法檢查臭氧的優點在于靈敏度高，重復性好，對操作者水平要求也不高，是一種較好的方案，但是因為此類儀表原來一般價格昂貴，不易普及使用。 
　　化學分析法中*常用的是碘化鉀法，硼酸碘化鉀吸光光度法和靛藍二磺酸鈉分光光度法。 賣儀表網 前兩種方案因對臭氧的專屬性不好或穩定性較差，在現場使用中均受到某些限制，而靛藍二磺酸鈉分光光度法因靈敏度高，對臭氧的專用性強，無需指標即可用于O3的定量測量，所以在1996年國家頒布的空氣質量指標GB3095-1996中，用該法代替原指標中的硼酸碘化法作為化學檢查O3的指標。 
　　儀表檢查臭氧濃度的原理是采用化學發光法、紫外線吸取法和電化學法三種。因化學發光法須配用乙烯氣瓶，乙烯又是可燃物，既危險又不方便，所以近年來國際上常用的是紫外線吸取法和電化學法兩種。 
　　紫外線吸取法的原理是基于O3對波長254nm的紫外光的吸取，根據比爾一朗的定律可以算出O3的濃度，這種方案結構簡單、靈敏度高、響應快，在0-10000ppm濃度范圍內具有良好的線性，且零點漂移和量程漂移都很小。 
　　電化學法是被測臭氧氣體以擴散方式和儀表接觸。 電子天平 并發生反應。輸出穩定的電信號。氣體濃度值可以穩定地用數據顯示在顯示屏上。